部分產線停擺！傳臺積電5nm晶圓廠出現氣體污染事故

聯合報7月30日報道，臺積電先進制程的南科18a廠，因部分來自廠商供應氧體疑似受到污染，7月29日晚間部分產線停擺。臺灣媒體，此次事故造成重大影響。

臺積電表示，已實時調度其他氣體供應，此現象對產線并無造成顯著影響，芯片仍正常生產。不過30日上午供應商全數被擋在廠區外，且消息傳出30日12時臺積電18廠舉行生產會議。

據經濟日報消息，7月30日上午，廠區人員出入頻繁但都三緘其口、不愿受訪發表意見；臺機18廠各貨運以及人車陸續進出、上午廠區后方有大量水汽排出。

臺媒稱，行業人士擔心，由于超標的氣體一直輸送到產線，恐怕會有報廢品問題，且由于臺積電的晶圓18廠所負責的5nm晶圓，是蘋果iPhone的重要零組件，而隨著新款iPhone上市在即，是否會對iPhone生產及供貨造成問題，都還有待觀察。

而臺積電2019年在南科晶圓14B廠也曾因為光阻原料造成晶圓良率異常，報廢上萬片芯片并重做，還因此使當年第一季營收減少約5.5億美元，調降第一季財測，這次氣體供應出問題，是否會造成晶圓報廢，后續影響還有待持續觀察。